APEX Semiconductor GmbH

О компании

APEX Semiconductor GmbH - поставщик услуг и решений для полупроводниковой промышленности. Мы ремонтируем и обслуживаем, модернизируем или оптимизируем фотолитографические машины по всему миру.

APEX Semiconductor поддерживает с 1999 года широкий спектр фотооборудования от OEM-производителей, которые больше не существуют (например, Convac-Fairchild, BLE Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) или там, где OEM-производители просто прекратили поддержку из-за возраста систем.

Для широкого спектра моделей мы предоставляем следующие услуги и запчасти:

Karl Suss ACS 200 Classic, устройство для нанесения покрытий, проявитель, нагревательная плита, охлаждающая плита, дорожки VPO
Автономная установка для нанесения покрытий Karl Suss RC8, Инструменты для нагрева плит
Suss Microtec Gamma 60 и 80, ACS 200+, Delta Coater, проявитель или столешница
Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, нагревательная плита для проявителя, охлаждающая плита, HMDS, VPO, отвод
Convac M6000 Coater, Developer, HMDS, Hotplate, Cleaner, Lift Off, Etcher и т. Д.
Convac M2000 Coater, гусеницы проявителя и все другие ручные инструменты
Ручные автономные технологические машины Convac
Системы Convac APT
BLE Gamma, Respect, Acrobat, Delta.
SSE и банкоматы Maximus 804, Opticoat, Optiwet Optihot
Дорожки SVG 90-х и другие инструменты SVG, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
Семитек, Хаматек
KLA 21xx

Наши услуги включают следующее:

Устранение неполадок на месте
Служба эскалации на месте
Онлайн поддержка
Капитальный ремонт и модернизация машин и подсистем, например роботов Genmark, роботов Isel и роботов Frogleg, однопроцессных модулей, таких как нагревательные плиты, охлаждающие плиты, станции нанесения покрытий и т. Д.
Запчасти Ремонт электрических, механических и пневматических компонентов
Услуги по установке и демонтажу
Услуги по переезду технологического оборудования
Поддержка и оптимизация процессов
Проверка источника
Обновления
Мы также можем предложить специализированное обслуживание по поддержке и запасным частям KLA 21xx.
Благодаря нашему многолетнему опыту работы в отрасли с подложками размером 2 дюйма и меньше и до 16 дюймов, круглыми или квадратными, мы можем предложить обновления, при которых мы модернизируем оборудование без изменения программного обеспечения.

У нас также есть обширный склад (400 квадратных метров) новых или бывших в употреблении запасных частей: различные вращательные двигатели, контроллеры вращения (Novotron ND 21-31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix…), процессорные блоки для Convac, SSE ( PMA PU 104…), печатные платы Convac, печатные платы SVG, печатные платы SSE и т. Д. Электрические детали, механические детали и узлы….

Если у вас есть более старая версия Coater-Developer Tool и в системе есть серьезные проблемы или вы просто ищете поддержку на более старой технологической машине, позвоните нам. Мы здесь чтобы помочь Вам.